As полупроводники микроелектронните технологии се развиват към по-висока производителност и по-висока интеграция, поставят се по-високи изисквания към чистотата на електронните специални газове. Технологията за газопроводи с висока чистота е важна част от системата за доставка на газ с висока чистота. Това е ключовата технология за доставяне на газове с висока чистота, които отговарят на изискванията към точките за използване на газ, като същевременно поддържат квалифицирано качество.
Технологията за тръбопроводи с висока чистота включва правилно проектиране на системата, избор на тръбни фитинги и спомагателни материали, конструкция и монтаж и тестване.
01 Обща концепция за газопреносни тръбопроводи
Всички газове с висока чистота и чистота трябва да бъдат транспортирани до терминалната газова точка чрез тръбопроводи. За да се изпълнят изискванията за качество на процеса на газ, когато индексът за износ на газ е сигурен, е по-необходимо да се обърне внимание на избора на материал и качеството на конструкцията на тръбопроводната система. В допълнение към точността на оборудването за производство или пречистване на газ, то до голяма степен се влияе от много фактори на тръбопроводната система. Следователно изборът на тръби трябва да се съобразява със съответните принципи на пречиствателната индустрия и да се маркира материалът на тръбите в чертежите.
02 Значението на тръбопроводите с висока чистота при транспортирането на газ
Значението на тръбопроводите с висока чистота при транспортирането на газ с висока чистота По време на процеса на топене на неръждаема стомана всеки тон може да абсорбира около 200 g газ. След като неръждаемата стомана бъде обработена, не само различни замърсители се задържат на нейната повърхност, но и определено количество газ се абсорбира в металната решетка. Когато през тръбопровода преминава въздушен поток, частта от газа, абсорбиран от метала, ще влезе отново във въздушния поток и ще замърси чистия газ.
Когато въздушният поток в тръбата е прекъснат, тръбата образува адсорбция под налягане върху преминаващия газ. Когато въздушният поток спре да преминава, газът, адсорбиран от тръбата, образува анализ за намаляване на налягането и анализираният газ също влиза в чистия газ в тръбата като примес.
В същото време цикълът на адсорбция и анализ ще накара метала на вътрешната повърхност на тръбата да произведе определено количество прах. Тази метална прашинка също замърсява чистия газ в тръбата. Тази характеристика на тръбата е много важна. За да се гарантира чистотата на транспортирания газ, се изисква не само вътрешната повърхност на тръбата да има изключително висока гладкост, но и тя да има висока устойчивост на износване.
Когато газът има силни корозивни свойства, за тръбопроводи трябва да се използват устойчиви на корозия тръби от неръждаема стомана. В противен случай по вътрешната повърхност на тръбата ще се появят петна от корозия поради корозия. В тежки случаи големи парчета метал ще се отлепят или дори ще се перфорират, като по този начин ще замърсят транспортирания чист газ.
03 Материал на тръбата
Изборът на материал на тръбата трябва да бъде избран според нуждите на употреба. Качеството на тръбата обикновено се измерва според грапавостта на вътрешната повърхност на тръбата. Колкото по-ниска е грапавостта, толкова по-малка е вероятността да носи частици. Обикновено се разделят на три вида:
Единият еТръба EP клас 316L, който е електролитно полиран (Electro-Polish). Той е устойчив на корозия и има ниска повърхностна грапавост. Rmax (максимална височина от пик до вдлъбнатина) е около 0,3 μm или по-малко. Той има най-висока плоскост и не е лесно да образува микровихрови токове. Отстранете замърсените частици. Реакционният газ, използван в процеса, трябва да се тръбопроводи на това ниво.
Единият е аBA степен 316Lтръба, която е обработена от Bright Anneal и често се използва за газове, които са в контакт с чипа, но не участват в реакцията на процеса, като GN2 и CDA. Едната е AP тръба (Annealing & Picking), която не е специално обработена и обикновено се използва за двойни комплекти външни тръби, които не се използват като газопроводи.
04 Строителство на тръбопроводи
Обработката на устието на тръбата е един от ключовите моменти на тази строителна технология. Рязането и предварителното производство на тръбопровода се извършват в чиста среда, като в същото време се гарантира, че няма вредни следи или повреди по повърхността на тръбопровода преди рязане. Подготовката за промиване с азот в тръбопровода трябва да се извърши преди отварянето на тръбопровода. По принцип заваряването се използва за свързване на преносни и разпределителни газопроводи с висока чистота и чистота с голям поток, но директното заваряване не е разрешено. Трябва да се използват съединения на корпуса и се изисква използваният тръбен материал да няма промяна в структурата по време на заваряване. Ако материалът с твърде високо съдържание на въглерод е заварен, пропускливостта на въздуха на заваръчната част ще доведе до проникване на газа вътре и извън тръбата един в друг, унищожавайки чистотата, сухотата и чистотата на транспортиращия газ, което ще доведе до сериозни последствия и влияят върху качеството на продукцията.
В обобщение, за газ с висока чистота и специални газопреносни тръбопроводи трябва да се използва специално обработена тръба от неръждаема стомана с висока чистота, което прави тръбопроводната система с висока чистота (включително тръбопроводи, тръбни фитинги, клапани, VMB, VMP) да заема жизненоважна мисия в разпределението на газ с висока чистота.
Време на публикуване: 26 ноември 2024 г