As полупроводники микроелектронните технологии се развиват към по-висока производителност и по-висока интеграция, като се поставят по-високи изисквания към чистотата на специалните електронни газове. Технологията за газопроводи с висока чистота е важна част от системата за доставка на газ с висока чистота. Тя е ключовата технология за доставяне на газове с висока чистота, които отговарят на изискванията до точките на потребление на газ, като същевременно се поддържа квалифицирано качество.
Технологията за високочисти тръбопроводи включва правилно проектиране на системата, избор на тръбни фитинги и спомагателни материали, изграждане и монтаж, както и тестване.
01Обща концепция за газопреносни тръбопроводи
Всички газове с висока чистота и степен на чистота трябва да се транспортират до крайната газова точка чрез тръбопроводи. За да се отговорят на изискванията за качество на процеса на газ, когато индексът на износ на газ е определен, е необходимо да се обърне по-голямо внимание на избора на материали и качеството на изграждане на тръбопроводната система. В допълнение към точността на оборудването за производство или пречистване на газ, тя се влияе до голяма степен от много фактори на тръбопроводната система. Следователно, изборът на тръби трябва да отговаря на съответните принципи на пречиствателната индустрия и да маркира материала на тръбите в чертежите.
02 Значението на тръбопроводите с висока чистота при транспортирането на газ
Значението на високочистите тръбопроводи за транспортиране на високочист газ. По време на процеса на топене на неръждаема стомана, всеки тон може да абсорбира около 200 грама газ. След обработката на неръждаемата стомана, не само различни замърсители се задържат по повърхността ѝ, но и определено количество газ се абсорбира в металната ѝ решетка. Когато през тръбопровода преминава въздушен поток, частта от газа, абсорбирана от метала, ще се върне във въздушния поток и ще замърси чистия газ.
Когато въздушният поток в тръбата е прекъснат, тя образува адсорбционно налягане върху преминаващия през нея газ. Когато въздушният поток спре да преминава, адсорбираният от тръбата газ образува понижено налягане и анализираният газ също навлиза в чистия газ в тръбата като примес.
В същото време, цикълът на адсорбция и анализ ще доведе до отделяне на определено количество прах от метала по вътрешната повърхност на тръбата. Тези метални прахови частици също замърсяват чистия газ в тръбата. Тази характеристика на тръбата е много важна. За да се гарантира чистотата на транспортирания газ, е необходимо не само вътрешната повърхност на тръбата да е изключително гладка, но и да има висока износоустойчивост.
Когато газът има силни корозивни свойства, за тръбопроводите трябва да се използват устойчиви на корозия тръби от неръждаема стомана. В противен случай по вътрешната повърхност на тръбата ще се появят петна от корозия поради корозия. В тежки случаи големи парчета метал ще се отлепят или дори ще се перфорират, като по този начин замърсят транспортирания чист газ.
03Материал на тръбата
Изборът на материал за тръбата трябва да се съобрази с нуждите на употреба. Качеството на тръбата обикновено се измерва според грапавостта на вътрешната ѝ повърхност. Колкото по-ниска е грапавостта, толкова по-малка е вероятността тя да пренася частици. Обикновено се разделят на три вида:
Едното еТръба EP клас 316L, който е електролитно полиран (електрополиран). Той е устойчив на корозия и има ниска грапавост на повърхността. Rmax (максимална височина от връх до вдлъбнатина) е около 0,3 μm или по-малко. Има най-висока плоскост и не е лесно да се образуват микровихрови токове. Отстранете замърсените частици. Реакционният газ, използван в процеса, трябва да се подава по тръбопровод на това ниво.
Единият еBA клас 316Lтръба, която е обработена чрез Bright Anneal и често се използва за газове, които са в контакт с чипа, но не участват в реакцията на процеса, като например GN2 и CDA. Едната е AP тръба (Annealing & Picking), която не е специално обработена и обикновено се използва за двойни комплекти външни тръби, които не се използват като газоподаващи линии.
04 Строителство на тръбопроводи
Обработката на отвора на тръбата е един от ключовите моменти на тази строителна технология. Рязането и предварителното производство на тръбопровода се извършват в чиста среда, като същевременно се гарантира, че няма вредни следи или повреди по повърхността на тръбопровода преди рязане. Подготовката за промиване с азот в тръбопровода трябва да се извърши преди отварянето му. По принцип заваряването се използва за свързване на високочисти и висококачествени газопроводи за пренос и разпределение с голям дебит, но директното заваряване не е разрешено. Трябва да се използват обсадни съединения, а използваният материал на тръбата не трябва да променя структурата си по време на заваряването. Ако се заварява материал с твърде високо съдържание на въглерод, въздухопропускливостта на заваръчната част ще доведе до проникване на газа вътре и извън тръбата, нарушавайки чистотата, сухотата и чистотата на транспортиращия газ, което ще доведе до сериозни последици и ще повлияе на качеството на производството.
В обобщение, за газопроводи с висока чистота и специални газопроводи трябва да се използва специално обработена тръба от неръждаема стомана с висока чистота, което прави тръбопроводната система с висока чистота (включително тръбопроводи, тръбни фитинги, клапани, VMB, VMP) жизненоважна мисия в разпределението на газ с висока чистота.
Време на публикуване: 26 ноември 2024 г.