1. Определение на системата за насипен газ:
Съхранение и контрол на налягането на инертни газове Видове газове: Типични инертни газове (азот, аргон, сгъстен въздух и др.)
Размер на тръбопровода: От 1/4 (тръбопровод за наблюдение) до 12-инчов главен тръбопровод
Основните продукти на системата са: мембранен вентил/силфонен клапан/сферичен кран, съединител с висока чистота (VCR, форма за заваряване), съединител за накрайник, клапан за регулиране на налягането, манометър и др.
В момента новата система включва и система за насипни специални газове, която използва фиксирани газови бутилки или цистерни за съхранение и транспорт.
2. Определение на пречиствателната система:
Отстраняване на примеси от насипни газове за газопроводи с висока чистота
3. Определение на газовите шкафове:
Осигурява контрол на налягането и мониторинг на потока за специални източници на газ (токсични, запалими, реактивни, корозивни газове) и има възможност за замяна на газови бутилки.
Местоположение: Намира се на подфабричен етаж или на долния етаж за съхранение на специални газове Източник: NF3, SF6, WF6 и др.
Размер на тръбопровода: Вътрешен газопровод, обикновено 1/4 инча за технологичен тръбопровод, 1/4-3/8 инча главно за тръбопровод за пречистване на азот с висока чистота.
Основни продукти: диафрагмени вентили с висока чистота, възвратни клапани, манометри, манометри, конектори с висока чистота (VCR, форма за заваряване) Тези газови шкафове основно съдържат възможности за автоматично превключване на бутилките, за да осигурят непрекъснато подаване на газ и безопасна подмяна на бутилки.
4. Определение за разпространение:
Свързване на източника на газ към намотката за събиране на газ
Размер на линията: Във фабриката за чипове размерът на тръбопровода за разпределение на насипен газ обикновено варира от 1/2 инча до 2 инча.
Форма на свързване: Специалните газопроводи обикновено се свързват чрез заваряване, без никаква механична връзка или други движещи се части, главно защото заваръчната връзка има силна надеждност на запечатване.
Във фабрика за чипове има стотици километри тръби, свързани за предаване на газ, които са по същество дълги около 20 фута и са заварени заедно. Някои тръбни завои и тръбни заваръчни връзки също са много често срещани.
5. Многофункционална вентилна кутия (Valve Manifold Box, VMB) Определение:
Той е за разпределяне на специални газове от източника на газ до различни краища на оборудването.
Вътрешен размер на тръбопровода: 1/4 инча технологичен тръбопровод и 1/4 - 3/8 инча продухващ тръбопровод. Системата може да използва компютърно управление, за да изисква задействани клапани или по-евтини ситуации с ръчни клапани.
Системни продукти: диафрагмени вентили/вентили със силфон с висока чистота, възвратни клапани, съединения с висока чистота (VCR, форма за микрозаваряване), клапани за регулиране на налягането, манометри и манометри и др. За разпределение на някои инертни газове, панелът на колектора на клапана - Основно се използва VMP (multi-function valve disc), който е с отворена повърхност на газовия диск и не изисква конструкция със затворено пространство и допълнително продухване с азот.
6. Вторична клапанна плоча/кутия (панел за свързване на инструменти) Определение:
Свържете газа, необходим на полупроводниковото оборудване от източника на газ към края на оборудването и осигурете съответно регулиране на налягането. Този панел е система за контрол на газа, която е по-близо до края на оборудването, отколкото VMB (мултифункционална вентилна кутия).
Размер на газопровода: 1/4 - 3/8 инча
Размер на тръбопровода за течност: 1/2 - 1 инч
Размер на нагнетателния тръбопровод: 1/2 - 1 инч
Основни продукти: мембранен вентил/силфонен вентил, еднопосочен вентил, клапан за регулиране на налягането, манометър, манометър, съединение с висока чистота (VCR, микрозаваряване), ферулно съединение, сферичен кран, маркуч и др.
Време на публикуване: 22 ноември 2024 г