1. Определение на система за насипни газове:
Съхранение и контрол на налягането на инертни газове Видове газове: Типични инертни газове (азот, аргон, сгъстен въздух и др.)
Размер на тръбопровода: От 1/4 (тръбопровод за мониторинг) до 12-инчов главен тръбопровод
Основните продукти на системата са: диафрагмен вентил/силфонен вентил/сферичен вентил, високочист конектор (VCR, заваръчна форма), ферулен конектор, регулиращ налягането вентил, манометър и др.
В момента новата система включва и система за насипни специални газове, която използва фиксирани газови бутилки или цистерни за съхранение и транспортиране.
2. Определение на система за пречистване:
Отстраняване на примеси от насипни газове за газопроводи с висока чистота
3. Определение на газови шкафове:
Осигуряват контрол на налягането и мониторинг на потока за специални газови източници (токсични, запалими, реактивни, корозивни газове) и имат възможност за подмяна на газови бутилки.
Местоположение: Разположено на подетаж на фабриката или на долния етаж за съхранение на специални газове. Източник: NF3, SF6, WF6 и др.
Размер на тръбопровода: Вътрешен газопровод, обикновено 1/4 инча за технологичен тръбопровод, 1/4-3/8 инча главно за тръбопровод за продухване с високочист азот.
Основни продукти: Мембранни вентили с висока чистота, възвратни вентили, манометри, конектори с висока чистота (VCR, заваръчни форми). Тези газови шкафове съдържат функции за автоматично превключване на бутилките, за да се осигури непрекъснато подаване на газ и безопасна подмяна на бутилките.
4. Определение за разпределение:
Свързване на източника на газ към газовата бобина
Размер на линията: В завода за чипове размерът на тръбопровода за разпределение на насипен газ обикновено варира от 1/2 инча до 2 инча.
Форма на свързване: Специалните газопроводи обикновено се свързват чрез заваряване, без механична връзка или други движещи се части, главно защото заваръчната връзка има силна надеждност на уплътняване.
В завод за чипове има стотици километри тръби, свързани за пренос на газ, които са с дължина около 6 метра и са заварени заедно. Някои тръбни извивки и тръбни заваръчни съединения също са много често срещани.
5. Многофункционална кутия с вентили (Valve Manifold Box, VMB) Определение:
Това е за разпределяне на специални газове от източника на газ до различни краища на оборудването.
Размер на вътрешния тръбопровод: 1/4-инчов технологичен тръбопровод и 1/4 - 3/8-инчов продухващ тръбопровод. Системата може да използва компютърно управление, за да изисква задействани клапани или по-евтини ситуации с ръчни клапани.
Системни продукти: високочисти диафрагмени вентили/силфонни вентили, възвратни вентили, високочисти съединения (VCR, микрозаваръчна форма), регулиращи вентили за налягане, манометри и др. За разпределението на някои инертни газове се използва главно вентилен колекторен панел - VMP (многофункционален вентилен диск), който има отворена повърхност на газовия диск и не изисква затворено пространство и допълнително продухване с азот.
6. Определение на плоча/кутия за вторичен клапан (панел за свързване на инструменти):
Свържете газа, необходим за полупроводниковото оборудване, от източника на газ към края на оборудването и осигурете съответно регулиране на налягането. Този панел е система за контрол на газа, която е по-близо до края на оборудването, отколкото VMB (многофункционална кутия с клапани).
Размер на газопровода: 1/4 - 3/8 инча
Размер на тръбопровода за течност: 1/2 - 1 инч
Размер на изпускателния тръбопровод: 1/2 - 1 инч
Основни продукти: диафрагмен вентил/силфонен вентил, еднопосочен вентил, регулиращ вентил за налягане, манометър, манометър, високочиста връзка (VCR, микрозаваряване), ферулен съединител, сферичен вентил, маркуч и др.
Време на публикуване: 22 ноември 2024 г.